硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物總稱，包含甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣的處理采用點(diǎn)燃+洗滌法凈化硅烷汽體，系統(tǒng)中包括：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+洗滌塔。主要用于單晶硅、多晶硅領(lǐng)域生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣的處理。以下是廢氣治理廠家分享。

　　徐州鑫源環(huán)保機(jī)械有限公司分享工作原理是硅烷與輸入空氣壓縮或新風(fēng)補(bǔ)氣口補(bǔ)入空氣觸碰而起火或發(fā)生氧化反應(yīng)，反映后形成大量二氧化硅粉塵；氨氣采用凈化塔噴灑吸收產(chǎn)生氨水。內(nèi)部燃燒倉采用特殊泄壓裝置，即便在內(nèi)部壓力忽然擴(kuò)大的情形下仍能正常運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)配置了N2通道，更為變大設(shè)備安全性。

　　在粉塵搜集層面采用負(fù)壓沉積的辦法，沉積下來的粉塵根據(jù)清渣口排出，這使粉塵搜集解決變得更容易、更高效，后面工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進(jìn)一步清除氧化硅粉塵，提高粉塵的治理效率。

　　主要應(yīng)用于太陽能、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

　　鑫源環(huán)保致力于工業(yè)廢氣治理、VOC廢氣治理、焊接煙塵凈化、工業(yè)粉塵處理、除臭等環(huán)境污染治理工程及處理設(shè)備的研發(fā)設(shè)計(jì)。公司注重技術(shù)創(chuàng)新，以高質(zhì)量的設(shè)備、先進(jìn)的技術(shù)、更優(yōu)的方案、專業(yè)的施工及良好的技術(shù)支持為廣大客戶提供的服務(wù)。公司秉承“廣納高科技人才，依托高科技，追求高質(zhì)量”的宗旨；不斷地進(jìn)行工業(yè)環(huán)境治理技術(shù)、VOC有機(jī)廢氣處理的創(chuàng)新與研發(fā)，始終站在科學(xué)治理環(huán)境的技術(shù)前沿。公司擁有一支專業(yè)、技術(shù)過硬的服務(wù)團(tuán)隊(duì)，面對(duì)員工，我們倡導(dǎo)”以人為本“的企業(yè)文化，為企業(yè)的每一個(gè)員工創(chuàng)造良好的工作、生活環(huán)境，每一個(gè)人的才華都能在這里得到體現(xiàn)；面對(duì)客戶的需求和利益，我們將以全心全意的精神，竭誠提供合適的產(chǎn)品、服務(wù)和解決方案。